真空計

真空計の概要

真空計（しんくうけい）は、大気圧よりも低い圧力、つまり負圧を測定するための圧力計です。真空の計測にはさまざまな方式があり、それぞれ異なる圧力範囲に対応しています。一つの真空計で大気圧から高真空（0.1Pa未満）を測定することは難しいため、現在では複合真空計が一般的に使用されています。これは、二種類以上の真空計を組み合わせて、幅広い圧力範囲を測定できるようにしたものです。これにより、多くの場合、大気圧から中真空（100 - 0.1Pa）程度の圧力を測定することが可能です。

測定方法による分類

真空計は測定方法によって大きく分類されます。主な分類は以下の通りです：

1. 差圧真空計：圧力差を利用して真空度を測定します。
2. 絶対圧真空計：物理現象を基に圧力を測定します。

測定対象による分類

真空計は、測定対象に応じて以下のように分けられます：

• - 全圧真空計：環境内の圧力のみを測定します。一般に「真空計」と呼ばれるもので、機械的な現象、気体の輸送現象、気体の電離現象に基づいてさらに細かく分類されます。

- 機械的現象によるもの：
- U字管マノメーター
- マクラウド真空計
- ダイヤフラム真空計
- ブルドン管真空計
- 重錘型真空計

- 気体の輸送現象によるもの：
- スピニングロータ真空計
- クリスタル真空計
- ピラニ真空計
- 熱電対真空計
- サーミスタ真空計
- クヌーセン真空計

これらは、気体の入射による熱の移動を利用して動作します。特に熱伝導真空計は、粘性流が影響するため、正確な値を示さない場合があります。

- 気体の電離現象によるもの：
- 放射線真空計
- 冷陰極電離真空計
- ペニング真空計
- 冷陰極マグネトロン真空計
- ガイスラー管
- 熱陰極電離真空計
- 三極管電離真空計
- シュルツ真空計
- ベアード・アルパード真空計（B-Aゲージ）
- エキストラクタ真空計
- 軸対称透過型電離真空計

• - 分圧真空計：環境内の気体成分の分子量に基づいて圧力を測定できます。質量分析に関連する機器として知られています。主なものには以下が含まれます：

- 高周波形質量分析計
- 四極子形質量分析計
- 単極子形質量分析計
- 磁界偏向形質量分析計
- 二重収束形質量分析計
- トロコイド形質量分析計
- オメガトロン形質量分析計
- 飛行時間質量分析計

まとめ

真空計は、さまざまな圧力範囲や測定方式を持ち、用途によって適切に選択することが大切です。特に、使用する真空計がどの圧力範囲に適しているかを理解し、その機能を最大限に発揮するための正しい使い方を知ることが重要です。関連する部品や材料も適切に選定することで、精度の高い測定が可能になります。

もう一度検索